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介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。
互联网摘选
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There are some reference effect in design of other types of diffusion pump.
对设计其他类型的扩散泵具有一定的参考作用。
互联网摘选
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